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測定法 |
特徴・問題点 |
断
面
法
試
料
切
断 |
顕微鏡写真
測定範囲（1μm〜数mm） |
1.膜組織や形態を測定点で確認しながら絶対測定可能。
2.直後の記録があり、いつでも成績証明ができる。
3.多少の習熟を要し、時間・工数も多い。
4.端面のダレや欠け、透明皮膜の低反射の問題など |
視野微尺法
測定範囲（0.1〜10mm） |
1.視野内の被測定者に微尺をおいて直後に計測する
2.ブリネル硬度計のくぼみ径測定と同原理
3.直後の記録なし。他は顕微鏡写真と同じ。
4.低倍率のものが多く、薄膜には不適。 |
接眼微尺法
測定範囲（1μm〜数mm） |
1.接眼鏡内の1/10mmスケールで計測
2.対物鏡倍率の逆数をかけたものが実寸法と同じ
3.直接記録なし。他は顕微鏡写真と同じ。 |
走査型電子顕微鏡法
測定範囲（0.01μmまで） |
1.被写界深度が非常に深く、破断面に適する。
2.TiN、TiC、セラミックスなど脆性材料に適する。 |
表
面
法
非
破
壊
法 |
焦点位置合わせ法
測定範囲（5〜100μm） |
1.十分な透明な皮膜で素地面に光沢のあるもの
2.鏡筒の上下移動量をマイクロメーターで読み取る
3.皮膜の屈折率が既知であること（移動量×屈折率）
4.Aｌ陽極酸化膜、塗膜など |
スピリットビーム顕微鏡法
測定範囲（5〜50μm） |
1.皮膜上下面からの反射スポットの間隔で測定。
2.十分な透明な皮膜で素地面に光沢のあるもの
3.皮膜の屈折率が既知であること
4.Aｌ陽極酸化膜、塗膜など |
干渉顕微鏡法
測定範囲（0.1〜数μm） |
1.処理皮膜の段差を光干渉縞で測定。
2.ICチップの処理皮膜など段差がはっきりしたもの |
| 超音波顕微鏡法 |
1.音波の反射または干渉によって測定
2.測定例も少なく、未だ、定量的ではない |
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