測定法 | 特徴・問題点 | |
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断面法 試料切断 |
顕微鏡写真 測定範囲 (1µm〜数mm) |
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視野微尺法 測定範囲 (0.1〜10mm) |
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接眼微尺法 測定範囲 (1µm〜数mm) |
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走査型 電子顕微鏡法 測定範囲 (0.01µmまで) |
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表面法 非破壊法 |
焦点位置合わせ法 測定範囲 (5〜100µm) |
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スピリットビーム 顕微鏡法 測定範囲 (5〜50µm) |
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干渉顕微鏡法 測定範囲 (0.1〜数µm) |
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超音波顕微鏡法 |
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