メッキ基礎情報 − 顕微鏡による各種皮膜厚さ測定
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顕微鏡による各種皮膜厚さ測定
| 測定法 | 特徴・問題点 | |
|---|---|---|
| 断面法 試料切断 |
顕微鏡写真 測定範囲 （1µm〜数mm） |
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| 視野微尺法 測定範囲 （0.1〜10mm） |
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| 接眼微尺法 測定範囲 （1µm〜数mm） |
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| 走査型 電子顕微鏡法 測定範囲 （0.01µmまで） |
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| 表面法 非破壊法 |
焦点位置合わせ法 測定範囲 （5〜100µm） |
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| スピリットビーム 顕微鏡法 測定範囲 （5〜50µm） |
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| 干渉顕微鏡法 測定範囲 （0.1〜数µm） |
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| 超音波顕微鏡法 |
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